荷兰正式宣布，禁售DUV光刻机，中方回应：别无选择，将自主制造

• 2023-05-13 10:16:13 来源：面包芯语

荷兰ASML掌握全球顶级的光刻机制造技术，是唯一能量产EUV光刻机的厂商，制程低一些的DUV光刻机也是ASML占据市场主导地位。

(资料图)

可即便荷兰光刻机产业实力再强，也成为了美国的“打手”，荷兰已正式宣布，禁售DUV光刻机。中国传来消息，正式回应称：若别无选择，将自主制造。

EUV光刻机使用了大量美国技术，所以当美国有意限制EUV光刻机出货的时候，荷兰ASML公司无法拒绝。

不过对于DUV光刻机，美国技术占比并不高，且ASML自研深耕了几十年，美国已无法从技术的角度对DUV光刻机展开限制。

于是荷兰成为了美国拉拢的对象，要求荷兰加入限制阵营。起初荷兰的态度是拒绝的，表示不会照搬美国对华的政策。本以为荷兰的态度能坚持到底，没想到今年1月底ASML传来荷兰、美国、日本达成协议的消息，荷兰最终还是妥协了。

在3月8日，荷兰宣布对最先进的DUV光刻机实施出口管制。根据ASML的解读，“最先进的”DUV光刻机涉及NXT：2000i及以上型号的设备。先进制程较低的DUV浸润式光刻机是能够继续出货的。

ASML分析可出货的范围，是在表达会继续和客户保持合作意愿，并不是所有的DUV光刻机都会被限制，其余可出货的产品可放心购买。

尽管如此，荷兰妥协的态度已经说明一切，这次能够妥协，下一次呢？若美国有更多的限制需求，荷兰是否还会限制更多设备出货。从EUV光刻机到DUV光刻机，外界认为不可能发生的限制行动都在一步步实现，所以该抛弃幻想，认清现实了。

针对荷兰的行为，中方回应了，表示：“中国不会忍气吞声，如果别无选择，将会尝试自主制造类似产品。”

荷兰本来可以自己选择经济发展方式，把光刻机卖给世界各国供应商。若能保持自由出货的话，半导体产业经济肯定能取得更好的成绩，ASML的营收也能迈上更高的台阶。

只不过荷兰做出了选择，站队美国，结果只会是一地鸡毛，将来ASML的光刻机有可能会在中国市场被替代。

中国表明了态度，别无选择的话就会自主制造。中国有自己的光刻机厂商，名叫上海微电子。目前上海微电子的光刻机可实现90nm芯片量产，别看只有90nm，但上海微电子正在推进193nm波长的ArF浸润式光刻机，最高可覆盖45nm-22nm制程。

一旦突破了最终的验证关卡，替代ASML的部分DUV浸润式光刻机未必不可能。

ASML也说过，如果不能出货光刻机给中国，将来中国会自己制造，物理规则在中国也是一样的，永远不要说永远。

ASML说出这番话也许是想引起西方的重视，别一错再错了，否则将来会失去这部分的市场生意。当然，也许ASML正视了中国自研的决心，知道中国没有进口支持的话，就会走自研路线。

历史上许多案例都证明，国外封锁的技术最终都被中国搞出来了，然后做大做强，再进一步发展国际市场，把价格打下来，击败西方供应商。

最典型的就是盾构机，中国没有掌握这项技术之前，西方进口的价格是3.5亿元，中国打破盾构机垄断之后，从德国进口一台盾构机只需要5000万元，日本进口的价格变成3000万元。

如果国外供应商不接受这样的价格，中国完全可以自给自足，到时候不但拿不到订单，还会彻底失去这个市场。因此买卖双方的关系发生变化，定价权已经在买方手中了，卖方想办法也要把产品卖出去，谈何限制。

同样的道理，中国目前面临光刻机的技术难题，虽然难度巨大，但再难的技术都是一点一滴积累起来的。

ASML靠着全球各国的支持，获得顶级的科技产品把光刻机组装起来，这背后有难以想象的工作量。短时间内国产光刻机也许无法达到EUV光刻机的水准，不过在DUV光刻机领域，未必不能有国产突破。

先满足部分需求，再积累更多的研发经验，继续瞄准更先进的技术领域出发，直至目标终点。

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